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第二百四十六章 直播!超级光刻机诞生!(2)(第6/6页)
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每秒五万次,目地是使锡液气化。”
  “气化瞬间,锡原子被快电离,产生高强度的等离子体,这时候,收集镜会捕获等离子体出的辐射,汇聚形成光源,将集中起来的光源传递至光刻系统,经过放大,调整,物镜的折射,最终曝光在硅晶片之上。”
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